三代计算机芯片光刻技术，还属于是接触式光刻机，光刻胶与光掩板贴在一起，就很容易造成污染问题。

　　并且随着曝光次数的增多，掩膜版也极易损坏，有着一定的失败率。

　　这也是成本高的原因，在价格方面肯定也会很贵！

　　在技术上，多数是对光掩膜，掩膜对准器和精度的提高。

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　　现在用的程序，多数还是机械式与电子管电路控制，在精度方面会有所劣势。

　　但随着集成电路研制出来之后，也可以...